Добавлена: 06.05.2022 Версия: 1.004 ISBN: 978-5-9775-0160-6 Город: Санкт-Петербург
Аннотация:
Рассмотрены разделы электроники: вакуумная и плазменная электроника, твердотельная электроника, микроэлектроника, квантовая и оптическая электроника, процессы микро- и нанотехнологий, методы исследования материалов и структур, микросхемотехника.
